纳米光谱在线测厚仪

　　现代薄膜涂布镀层工艺在进行在线生产过程中，需要对膜厚及涂层厚度进行实时的在线测厚，由于传统的射线类膜厚检测仪检测精度低、易偏移、难于校准等缺点给实际的工艺产品质量控制造成了很大的影响，SIMV涂层(膜厚)在线测厚仪，采用纳米光学干涉的方式，可同时对20层不用涂层、薄膜进行同时测量，同时精度高达1nm，完美的解决了传统射线类在线测厚仪有辐射、偏移周期长、检测精度低、不能检测涂层厚度的缺点。赛默斐视涂层厚度在线测厚仪检测精度高，同时能够实时在线自动校准，有效的保证了在线测厚仪的检测精度。

　　【检测原理】

　　当特定波长的光通过不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)时，经过表面及内部多次反射之后形成的光谱条纹是完全不一样的，系统通过分析所接收到的反射光的光谱干涉条纹特性，与系统库中的光谱曲线进行匹配和对比，同时进行特征曲线的仿真和拟合，进而对每种不同成分厚度的涂层进行在线测量。

　　1.入射光在膜的上下表面发生多次反射。

　　2.反射光的强度和薄膜折射率，基底(substrate)折射率及膜厚，波长有关。

　　3.在已知折射率的情况下，根据测量出的反射光强和波长的函数，计算出膜厚。

　　由上面两张图片对比可以发现，特定波长的光经过某种不同的材料(不同厚度、密度、类型)内部反射之后所产生的光谱干涉条纹完全不同，如上图图中黑色线条部分，根据每种干涉条纹与系统库中的条纹进行对比仿真拟合，从而检测出实际的材料厚度。

　　【系统功能】

　　【软件介绍】

　　软件主界面基本示意如下图所示：

　　【现场应用】

　　涂层/胶层在线测厚系统在保护膜、胶带的现场应用如下图所示。